发明名称 |
一种Cr掺杂Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>相变材料、相变存储器单元及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种Cr掺杂Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>相变材料、相变存储器单元及其制备方法,所述Cr掺杂Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>相变材料的组分通式为Cr<sub>x</sub>Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>,其中,x为Cr元素的原子比,且满足0.5<x<1.5。本发明通过对Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>进行Cr掺杂,由于Cr是一种熔点极高的金属,可以提高相变材料的热稳定性,且Cr与Ge、Sb、Te三种元素都可以成键,从而有效避免偏析。本发明的Cr掺杂Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>相变材料在外部能量的作用下,能够实现高电阻态与低电阻态之间的可逆转变,高低阻态的阻值比可达约两个数量级;其作为相变存储器的存储介质时,相变存储单元不仅具有相变速度快、写操作电流低等优点,而且器件的高温数据保持力及可靠性有了极大的提高。采用本发明相变存储器单元结构的相变存储器具有高速、低功耗、良好数据保持力等优越性。 |
申请公布号 |
CN105047816A |
申请公布日期 |
2015.11.11 |
申请号 |
CN201510391019.8 |
申请日期 |
2015.07.06 |
申请人 |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
王青;刘波;夏洋洋;张中华;宋三年;宋志棠;封松林 |
分类号 |
H01L45/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
余明伟 |
主权项 |
一种Cr掺杂Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>相变材料,其特征在于:所述Cr掺杂Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>相变材料的组分通式为Cr<sub>x</sub>Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>,其中,x为Cr元素的原子比,且满足0.5<x<1.5。 |
地址 |
200050 上海市长宁区长宁路865号 |