| 发明名称 | 表膜用膜和表膜 | ||
| 摘要 | 提供对EUV光具有高透射性、具有实用上充分的物理强度和耐久性，并且能够容易地去除膜碎片、且生产率优异的表膜用膜和表膜。表膜用膜(1)由碳多孔体膜构成，膜厚D为100nm～63μm。 | ||
| 申请公布号 | CN105051604A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201480015635.7 | 申请日期 | 2014.03.11 |
| 申请人 | 旭化成电子材料株式会社 | 发明人 | 宫下宪和 |
| 分类号 | G03F1/62(2006.01)I;G03F1/24(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/62(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种表膜用膜，其由碳多孔体膜构成，膜厚D为100nm～63μm。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||