发明名称 炭化珪素単結晶の製造装置および製造方法
摘要
申请公布号 JP5811012(B2) 申请公布日期 2015.11.11
申请号 JP20120086574 申请日期 2012.04.05
申请人 发明人
分类号 C30B29/36;C30B25/10 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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