发明名称 用于软微影之聚矽氧橡胶材料
摘要
申请公布号 TWI507483 申请公布日期 2015.11.11
申请号 TW103115227 申请日期 2009.06.05
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 维尔雪伦 马克斯 安东尼尔斯
分类号 C08L83/04;C08L83/05;C08L83/07;G03F7/075;H01L21/027 主分类号 C08L83/04
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种用于形成聚矽氧橡胶状材料之组合物,该组合物包含:至少一官能性T分支及/或官能性Q分支之(聚)矽氧烷前驱物,其中该至少一官能性T分支(聚)矽氧烷前驱物系选自由氢化物官能性T分支(聚)矽氧烷前驱物、乙烯基官能性T分支(聚)矽氧烷前驱物及其混合物组成之群组及/或其中该至少一官能性Q分支(聚)矽氧烷前驱物系选自由氢化物官能性Q分支(聚)矽氧烷前驱物、乙烯基官能性Q分支(聚)矽氧烷前驱物及其混合物组成之群组;及至少一官能线性聚矽氧烷,其中该至少一官能线性聚矽氧烷系氢化物官能线性聚矽氧烷及乙烯基官能线性聚矽氧烷之混合物。
地址 荷兰