| 主权项 |
一种形成精细图案之方法，其包括下列步骤：在一蚀刻目标层上形成一伸展跨越一第一区域及一第二区域之硬光罩层；在该第一区域之该硬光罩层上形成一牺牲层图案；在形成一隔片图案于其诸侧壁上之后移除该牺牲层图案；藉运用该隔片图案作为一蚀刻屏蔽并蚀刻该第一区域之该硬光罩层而在该等第一及该第二区域形成初级硬光罩图案，其中每一个该初级硬光罩图案之左侧和右侧系彼此对称；移除该隔片图案；在该等第一及第二区域之该初级硬光罩图案上形成一经切割之光罩图案，其中该经切割之光罩图案分别使该等第一及第二区域之该初级硬光罩图案的部分暴露以供随后蚀刻；藉运用该经切割之光罩图案作为一蚀刻屏蔽并蚀刻该等第一及第二区域之该初级硬光罩图案而同时在该等第一及该第二区域形成最终硬光罩图案；移除该经切割之光罩图案；及藉运用该等第一及第二区域之该最终硬光罩图案作为一蚀刻屏蔽并对该蚀刻目标层进行蚀刻，而分别在该等第一及第二区域中形成图案。
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