一种氟化石墨烯/石墨烯异质结的制备方法

摘要

本发明公开了一种氟化石墨烯/石墨烯异质结的制备方法，主要采用深反应刻蚀的方法，以 SF₆气体作为氟化剂制得氟化石墨烯/石墨烯异质结。所制得的氟化石墨烯异质结为多层，顶层为氟化石墨烯，顶层以下为石墨烯。本发明方法制备的氟化石墨烯/石墨烯异质结氟化程度高，氟化性质好，该方法可用于大尺寸氟化石墨烯/石墨烯异质结的制备，当采用的石墨烯样品其衬底为铜网时，还可实现氟化石墨烯/石墨烯/氟化石墨烯双层异质结。与其他的氟化方法比较，本发明的方法具有设备和工艺过程简便，可控性好，制备成本低，可用于量产等优点。制得的氟化石墨烯/石墨烯异质结尺寸可以达到晶圆级，这为氟化石墨烯/石墨烯异质结的性质探究以及氟化石墨烯/石墨烯异质结器件的加工都奠定了良好的基础。

主权项

一种氟化石墨烯/石墨烯异质结的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）将多层石墨烯样品放入深反应刻蚀机的送样室内，将送样室气压抽至10^‑3Torr以下，再将多层石墨烯样品送入反应腔；2）将反应腔内气压抽至10^‑6Torr以下，通入SF₆气体，流量为100sccm；3）对SF₆进行等离子体激发，在电离功率为10W~300W条件下反应5s~20min；取出样品，获得氟化石墨烯/石墨烯异质结。