一种成型加工操作的机械加工方法

摘要

本发明提供一种成型加工操作的机械加工方法，包括对靶材坯料溅射面和背面的平面整平加工工艺，以及对于靶材坯料各个侧面的侧面加工工艺，从而使得所述靶材坯料的厚度达预定厚度，所述靶材坯料溅射面和背面的平面尺寸达到预定平面尺寸；其中，对靶材坯料溅射面和背面的平整化处理工艺包括：对靶材坯料的溅射面和背面沿第一方向进行的一次平面整平工艺和二次平面整平工艺，以及对于溅射面的精加工平面整平工艺，本发明涉及的这种成型加工操作的机械加工方法，根据各步平整化处理工艺前的靶材坯料结构，在确保加工的靶材坯料的溅射面和背面平面度的同时，减小靶材的振动量以及形变量，从而确保靶材坯料机械加工后的质量和加工效率。

主权项

一种成型加工操作的机械加工方法，其特征在于：包括对坏料溅射面和背面的平面整平加工工艺，以及对于坏料各个侧面的侧面加工工艺，从而使得所述坏料的厚度达预定厚度，所述坏料溅射面和背面的平面尺寸达到预定平面尺寸；其中，对坏料溅射面和背面的平整化处理工艺包括：对坏料的溅射面和背面沿第一方向进行的一次平面整平工艺和二次平面整平工艺，以及对于溅射面的精加工平面整平工艺，通过沿第一方向对所述溅射面或背面的多步整平工艺，缓解坏料内部产生的应力以及机械加工对于坏料产生的振动；所述一次平面整平工艺、二次平面整平工艺和精加工平面整平工艺中，采用的刀具分别为直径为200～250mm、直径为200～250mm和直径为400～450mm的盘刀；主轴的转速分别为600～800n/s、800～1000n/s和300～450n/s；刀具在溅射面或是背面上的进给量为800～1000mm/min、600～800mm/min和200～300mm/min；在第一方向上的背吃刀量分别为0.8～1.2mm、0.2～0.4mm和0.08～0.15mm。