摘要 |
【課題】シャワーヘッドが有するガス分散板の目詰まりを抑制可能な基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム及び記録媒体の提供。【解決手段】基板200を処理する処理室201と、処理室201の上流に設けられたシャワーヘッド230と、シャワーヘッド230に接続されたガス供給管242と、処理室201の下流側に接続された第一の排気管262と、シャワーヘッド230を構成する壁面の内、処理室201に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続される第二の排気管263と、第二の排気管263に設けられた圧力検知部280と、各構成を制御する制御部360とを有する基板処理装置100。【選択図】図1 |