| 摘要 |
1. Покрытие из (Al,Ti)N, обладающее по меньшей мере двумя разными частями покрытия, А и В, с размером зерна нанометрового порядка величины, характеризующееся тем, что часть А покрытия обладает более крупным размером зерна и более высоким модулем упругости, чем часть В покрытия.2. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что часть В покрытия нанесена на часть А покрытия.3. Покрытие из (Al,Ti)N по любому из пп. 1 и 2, характеризующееся тем, что содержание алюминия в атомных процентах по отношению к титану и/или напряжение сжатия, измеренное(ые) в части А покрытия, являются/является по меньшей мере слегка меньшим(и), чем измеренное(ые) в части В покрытия.4. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что размер зерна в частях А и В покрытия составляет между 5 нм и 50 нм, предпочтительно между 5 нм и 30 нм.5. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что размер зерна в части А покрытия, gz, является по меньшей мере в 1,25 раза большим, чем в части В покрытия, gz, предпочтительно gz1,5·gz, более предпочтительно 10·gz≥gz≥1,5·gz, еще более предпочтительно 4·gz≥gz≥1,8·gz.6. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1 , характеризующееся тем, что обе части А и В покрытия обладают гранецентрированными кубическими кристаллическими структурами и кристаллографической текстурой преимущественно (200).7. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что обе части А и В покрытия обладают значениями твердости между37 ГПа и 55 ГПа и/или значениями модуля упругости между 410 ГПа и 450 ГПа.8. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что толщина части А покрытия, th, является меньшей, чем толщина части В покрытия, th, предпочтительно 1,2·th≤th≤8·th, более предпочтительно 1,5·th≤th≤3·th.9. Подложка |
