发明名称 エッジ明瞭性が向上した構造の製造方法
摘要 A method includes scanning a radiation beam with respect to a multi-photon curable photoreactive composition. The radiation beam includes a power sufficient to at least partially cure a volume of the multiphoton curable photoreactive composition. The method further includes modifying a characteristic of the radiation beam as the radiation beam is scanned.
申请公布号 JP5806348(B2) 申请公布日期 2015.11.10
申请号 JP20140022569 申请日期 2014.02.07
申请人 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 发明人 ゲイツ,ブライアン ジェイ.;クラサ,ロバート ティー.;マルコビッチ,プルジェミスワブ ペ.;シコラ,クレイグ アール.;デボー,ロバート ジェイ.;ファクリス,ディーン
分类号 B29C67/00;G02F1/05;G02F1/11;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 B29C67/00
代理机构 代理人
主权项
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