发明名称 |
エッジ明瞭性が向上した構造の製造方法 |
摘要 |
A method includes scanning a radiation beam with respect to a multi-photon curable photoreactive composition. The radiation beam includes a power sufficient to at least partially cure a volume of the multiphoton curable photoreactive composition. The method further includes modifying a characteristic of the radiation beam as the radiation beam is scanned. |
申请公布号 |
JP5806348(B2) |
申请公布日期 |
2015.11.10 |
申请号 |
JP20140022569 |
申请日期 |
2014.02.07 |
申请人 |
スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー |
发明人 |
ゲイツ,ブライアン ジェイ.;クラサ,ロバート ティー.;マルコビッチ,プルジェミスワブ ペ.;シコラ,クレイグ アール.;デボー,ロバート ジェイ.;ファクリス,ディーン |
分类号 |
B29C67/00;G02F1/05;G02F1/11;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
B29C67/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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