| 摘要 |
【課題】互いに光学特性の異なる複数の領域が１つの検査対象面内に混在している検査対象物についても、クラックを正しく検出する。【解決手段】画像認識装置１は、検査対象物を明視野照明の下で撮像してなる明視野画像を取得する明視野照明撮像部１０と、同じ検査対象物を暗視野照明の下で撮像してなる暗視野画像を取得する暗視野照明撮像部１２と、明視野画像に基づいて第１のクラック点列を生成するクラック点列生成部１１と、暗視野照明に基づいて第２のクラック点列を生成するクラック点列生成部１３と、第１のクラック点列と第２のクラック点列を連結してなる連結クラック点列を生成するクラック連結部１４とを備える。【選択図】図１ |
