SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR FORMING A THIN FILM LITHIUM ION BATTERY

摘要

기판, 상기 기판상에 형성되는 제1 전류 컬렉터, 상기 제1 전류 컬렉터의 일부상에 형성되는 캐소드 층, 상기 캐소드 층상에 형성되는 전해질 재료의 고체 층, 상기 전해질 재료의 고체 층상에 형성되는 실리콘-금속 박막 애노드 층, 및 상기 실리콘-금속 박막 애노드 층에 전기적으로 결합되는 제2 전류 컬렉터를 포함하는, 박막 필름 배터리를 형성하는 시스템 및 방법. 박막 배터리를 형성하기 위한 방법 및 시스템이 또한 기술된다.