DICING SHEET SUBSTRATE FILM, AND DICING SHEET PROVIDED WITH SAID SUBSTRATE FILM

摘要

전자선이나 γ선 등의 물리적인 에너지를 주지 않고 풀 커팅 다이싱에 있어서, 피절단물의 다이싱 시에 발생하는 다이싱 부스러기의 발생을 억제하고 익스팬드 공정에서의 신장성이 우수한 다이싱 시트용 기재 필름으로서, 수지층(A)을 구비하는 다이싱 시트용의 기재 필름(2)이며, 수지층(A)은 폴리에틸렌과 에틸렌-테트라시클로도데센 공중합체를 함유하는 기재 필름(2)이 제공되며, 이러한 다이싱 시트용 기재 필름을 구비하는 다이싱 시트도 제공된다.