| 摘要 |
<p>실시예에 따른 웨이퍼 고정블록을 클리닝하기 위한 장치는 클리닝 대상이 되는 고정 블록이 안착되는 블록 로딩척과, 상기 블록 로딩척과 연결되고, 상기 블록 로딩척 하측에서 회전가능하게 장착되는 척 지지부와, 상기 고정 블록의 상측에 위치하고, 상기 고정 블록의 표면에 선택적으로 접촉가능한 블록 클리닝부를 포함하고, 상기 블록 클리닝부는, 제 1 방향과, 상기 제 1 방향과는 수직한 방향이 되는 제 2 방향으로의 이동이 가능한 실린더 연결 로드와, 상기 실린더 연결 로드의 일측 단부에 마련되는 복수개의 브러쉬와, 상기 실린더 연결 로드의 일측 단부에 마련되는 블레이드를 포함한다.</p> |
