MANUFACTURING METHOD OF ZnO THIN FILM USING COLD CATHOD
摘要
<p>본 발명은 냉음극 플라즈마를 이용한 산화 아연 박막의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 플라즈마를 발생시키기 위한 전원으로서 냉음극 변압기를 사용하는 산화 아연 박막의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 냉음극 플라즈마를 이용한 산화 아연 박막의 제조 방법은 누설전류변압기를 이용하기 때문에 낮은 전원, 상온에서도 우수한 산화 아연 박막을 제조할 수 있다.</p>
