| 摘要 |
本開示は、例えば半導体製造で使用される液体などを含む液体を浄化するための取外し可能な浄化装置カセットを使用するモジュール式浄化システムに関する。浄化システムは、浄化装置入口ポートおよび浄化装置出口ポートを有する取外し可能な浄化装置カセットとマニホルドアセンブリとを備え得る。マニホルドアセンブリは、カセットに/から流体を供給するためのマニホルドポートを形成するものに対する複数の連結システムを備えることが可能である。いくつかの実施形態においては、連結システムは、360度未満の回転により360度にわたる螺合を実現し得る連結ナットを使用し得る。 |
