发明名称 FLUORINE-CONTAINING PLASMA POLYMERIZED HMDSO FOR OLED THIN FILM ENCAPSULATION
摘要 OLED 디바이스를 형성하기 위한 방법들이 설명된다. 배리어 층들 사이에 개재된 유기 버퍼 층을 갖는 인캡슐레이션(encapsulation) 구조가 OLED 구조 위에 증착된다. 버퍼 층이 불소-함유 플라즈마로 형성된다. 그 후에, 제 2 배리어 층이 버퍼 층 위에 증착된다. 부가적으로, 우수한 접착을 보장하기 위해, 버퍼 접착 층이 제 1 배리어 층과 버퍼 층 사이에 형성된다. 마지막으로, 우수한 투과도를 보장하기 위해, 응력 감소 층이 제 2 배리어 층과 버퍼 층 사이에 증착된다.
申请公布号 KR20150125667(A) 申请公布日期 2015.11.09
申请号 KR20157024718 申请日期 2014.02.06
申请人 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 发明人 첸, 즈르즈얀 제리
分类号 H01L51/52;H01L51/56 主分类号 H01L51/52
代理机构 代理人
主权项
地址