モノリシック３軸磁場センサ

摘要

３軸磁気センサまたは磁力計が提供される。バーバーポールＡＭＲ構造を用いた２つの磁気検知ホイートストンブリッジが、基板上に形成されたバンプ構造の両側に形成されることによって、基板の平面に対して所定の角度を有した面が形成されている。ブリッジアセンブリがＹ軸に沿って方向付けられ、ブリッジ信号の処理によってＹチャンネル信号およびＺチャンネル信号の生成が可能となるようにブリッジが互いに連結されている。Ｘチャンネル信号は、基板の水準面に設置されたＸ軸センサによって供給される。