| 摘要 |
本発明は、センサ素子を備えた空気質量流量計に関する。この場合、測定すべき空気質量流が、センサ素子の上を越えて移動し、センサ素子は、微小電気機械システムとして形成されており、この微小電気機械システムはダイアフラムを有しており、このダイアフラムの上に加熱素子が形成されており、空気質量流の方向で加熱素子の前方及び後方に、それぞれ１つの電気的な測定抵抗と、少なくとも２つの電気的な比較抵抗が配置されており、それぞれ１つの測定抵抗を少なくとも２つの比較抵抗と電気的に結線することにより、第１の温度センサ素子と第２の温度センサ素子が形成される。センサ素子の汚れによる測定結果の誤りを排除するため、又は少なくとも狭い範囲内に抑えるため、第１の温度センサ素子は、センサ素子に設けられた複数の抵抗から成る直列接続回路として形成されており、第１の温度センサ素子は、空気質量流の方向で加熱素子の前方に配置された１つの測定抵抗と、空気質量流の方向で加熱素子の後方に配置された２つの比較抵抗とを備えており、第２の温度センサ素子は、センサ素子に設けられた複数の抵抗から成る直列接続回路として形成されており、第２の温度センサ素子は、空気質量流の方向で加熱素子の後方に配置された１つの測定抵抗と、空気質量流の方向で加熱素子の前方に配置された２つの比較抵抗とを備えている。 |
