| 摘要 |
極紫外（ＥＵＶ）光源のためのターゲット材料供給装置は、第１の端部と、第２の端部と、第１及び第２の端部間に定められた側壁とを含むチューブを含む。チューブの外側面の少なくとも一部分は、電気絶縁材料を含み、第１の端部は、加圧ターゲット材料を受け入れ、第２の端部は、ターゲット材料液滴の流れを生成するために加圧ターゲット材料が通過するオリフィスを定める。ターゲット材料供給装置はまた、チューブの外側面上に導電コーティングを含む。コーティングは、チューブの外側面を接地に電気的に接続し、それによって外側面上の表面電荷を低減するように構成される。【選択図】 図３Ｂ |
