| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 배기장치는 잉곳성장장비를 관통하는 가스배출관을 통해 상기 잉곳성장장비 내의 기체를 배기하는 배기장치로서, 상기 가스배출관에 연결되어 상기 기체의 통로가 되는 메인 배기관; 상기 메인 배기관을 통해 이동한 기체의 이물질을 거르는 필터; 상기 필터를 통과한 상기 기체를 흡입하는 진공펌프; 및 상기 메인 배기관으로 대기를 주입하는 대기공급수단;을 포함하고, 상기 대기공급수단은 상기 메인 배기관에서 분기되어 연장된 대기관과, 상기 대기관을 개폐하는 대기개폐벨브와, 상기 대기관으로 대기를 공급하는 대기공급부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명에 따른 배기장치를 통해, 잉곳 생산효율 및 생산품질이 향상될 수 있으며, 배기관 청소 작업자의 위험도 감소시킬 수 있는 장점이 있다.</p> |
