マイクロ波周波数信号の電気光学的サンプリング用デバイス

摘要

本発明は、マイクロ波信号を伝送するためのマイクロ波伝送線（２０）を備えたマイクロ波周波数信号の電気光学的サンプリング用の電気光学的サンプリングデバイスに関し、そのマイクロ波線は、光学制御信号の影響下において伝導性にさせることができ、光学制御中断器スイッチとして機能する中断領域（２２）を備える。本発明に係るデバイスは、その中断領域内に、ナノ構造（３８）の周期的又は準周期的タイル状パターンを備えたナノ構造化された半導体の層（４２）を備える。ナノ構造化された半導体の層（４２）は、中断領域のレベルにおいて、懸架され、又は半導体の屈折率よりも低い屈折率の誘電体（３６）の上に配置され、ナノ構造化された半導体の層（４２）が光学制御中断器スイッチとして機能することができる。一実施形態によると、ナノ構造化された半導体の層（４２）は、ナノ構造のタイル状パターンの変更によって形成された少なくとも一つの共鳴光学キャビティ（４４）を備える。