| 摘要 |
<p>플라즈마 내로 커플링된 고주파 신호에 대한 임펄스 응답을 측정하기 위한 수단, 임펄스 응답의 함수로서 밀도 및/또는 전자 온도 및/또는 충돌 빈도를 계산하기 위한 수단, 플라즈마 내로 삽입될 수 있고 프로브 헤드(2)와 프로브 샤프트(5)를 가진 프로브를 포함하고, 상기 프로브 샤프트는 프로브 헤드(2) 내로 고주파 신호의 전기적 커플링을 위한 신호 발생기에 연결되고, 상기 프로브 헤드(2)는 재킷(7)과 상기 재킷(7)으로 둘러싸인 프로브 코어(8)를 포함하고, 상기 프로브 코어(8)의 표면은 반대 극성의 서로 절연된 전극 영역들(3, 4, 3a, 4a)을 포함하는 플라즈마의 밀도를 측정하기 위한 장치에 있어서, 상기 프로브(1)는 발룬(9;Balun)을 포함하고, 상기 발룬은 프로브 헤드(2)와 전기적 비대칭의 고주파 신호 피드(6) 사이에서 전기적으로 비대칭의 신호를 대칭 신호로 변환하기 위해 작용하는 것을 특징으로 한다.</p> |
