| 摘要 |
<p>본 발명은 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공한다. 이 두께 측정 광학 장치는 복수의 파장에서 발진하는 광대역 레이저 광원; 상기 광대역 레이저 광원의 출력광을 제1 포트로 제공받아 제2 포트로 제공하고 제2 포트로 제공받은 광을 제3 포트로 출력하는 광서큘레이터; 상기 광서큘레이터의 제2 포트로부터 출력되는 광의 일부를 투과시키고 나머지를 반사시키는 광분할기; 및 상기 광분할기로부터 제공된 광을 반사시키는 미러를 포함한다. 측정 대상은 상기 광분할기와 상기 미러 사이에 배치되고, 상기 측정 대상은 상기 광분할기를 투과한 광의 일부를 반사시키고 나머지를 투과시키어 상기 미러에 제공한다.</p> |
