发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要 <p>Eine Halbleitervorrichtung, die mit Folgendem ausgestattet ist: einem Gate-Isolierfilm, der ein Isoliermaterial mit hoher Dielektrizitätskonstante enthält und eine erste Breite aufweist; einer unteren Gate-Elektrode, die eine zweite Breite aufweist, die schmaler ist als die erste Breite; einer oberen Gate-Elektrode, die eine dritte Breite aufweist; und einer ersten Abstandsschicht, die den seitlichen Teil der oberen Gate-Elektrode, einen Teil des unteren Teils der oberen Gate-Elektrode, einen Teil der unteren Gate-Elektrode, einen Teil der oberen Oberfläche des Gate-Isolierfilms, wobei dieser Teil der oberen Oberfläche nicht mit der unteren Gate-Elektrode in Kontakt ist, und die seitliche Oberfläche des Gate-Isolierfilms abdeckt.</p>
申请公布号 DE112014000641(T5) 申请公布日期 2015.11.05
申请号 DE20141100641T 申请日期 2014.01.29
申请人 PS4 LUXCO S.A.R.L. 发明人 SAKOGAWA, YASUYUKI
分类号 H01L21/336;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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