发明名称 Ausgleich der gasbedingten Lichtbrechung bei lasergestützten Plasmakolben
摘要 Ein lasergestütztes Plasma-Beleuchtungssystem beinhaltet mindestens eine Laserlichtquelle, um Licht bereitzustellen. Mindestens ein Reflektor fokussiert das Licht von der Laserlichtquelle in einem Brennpunkt des Reflektors. Ein im Wesentlichen mit einem Gas gefülltes Behältnis ist an oder nahe dem Brennpunkt des Reflektors positioniert. Das Licht von der Laserlichtquelle erhält ein in dem Behältnis eingeschlossenes Plasma zumindest teilweise aufrecht. Das Behältnis hat zumindest eine Wandung mit einer Dicke, welche ungleichmäßig ist, um optische Aberrationen in dem System zu kompensieren.
申请公布号 DE112014000948(T5) 申请公布日期 2015.11.05
申请号 DE20141100948T 申请日期 2014.02.21
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 SALNIK, ALEX;BEZEL, ILYA V.;SHCHEMELININ, ANATOLY;CHIMMALGI, ANANT
分类号 H01J11/18 主分类号 H01J11/18
代理机构 代理人
主权项
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