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发明名称
基板を結合する方法
摘要
基板を結合する方法、この方法を使用して形成されたアセンブリ、ならびに前記アセンブリを修繕する改善された方法が開示され、アセンブリは、アセンブリの製造、性能、および修繕を改善するために、2つの基板を接合するために利用される接着層内に形成された少なくとも1つのチャネルを利用する。一実施形態では、アセンブリは、接着層によって第2の基板に固定された第1の基板を含む。アセンブリはチャネルを含み、チャネルは、接着層によって境界を画された少なくとも一方の側を有し、アセンブリの外部に露出された出口を有する。
申请公布号
JP2015532015(A)
申请公布日期
2015.11.05
申请号
JP20150533075
申请日期
2013.08.22
申请人
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドAPPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人
ナレンドラナス カドサラ ラマヤ;シーラヴァント ガンガーダル;アガーワル モニカ;バトナーゲル アシシュ
分类号
H01L21/683
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
主权项
地址
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