| 摘要 |
<p>Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Röntgenspektroskopie bereitgestellt, bei welchen mehrere röntgenspektroskopische Messungen an verschiedenen Orten einer Probe durchgeführt werden und eine Elementkonzentration für ein interessierendes Element an mindestens einem Ort durch Kombination der Ergebnisse der mehreren Messungen abgeschätzt wird. Auf diese Weise kann insbesondere bei Vorrichtungen, bei welchen sich die Probe nicht in einem Vakuum befindet, eine Auflösungsverbesserung erreicht werden.</p> |
