发明名称 発散変更装置
摘要 電磁ビーム(5)の発散を可変調整可能な発散変更装置(1)を提供する。発散変更装置は、ビームを提供する光源(10)と、第1焦点(16)、第1及び第2システム領域(17、18)を有する光学系(15)を有する実質的にテレセントリックな配置(31)と、を備える。テレセントリック配置は第1焦点に又はそれに近接して配置され、且つビームが光源から光偏向装置(30)に当たるように配置及び構成された光偏向装置を有する。主光線(6)は第1焦点で又は第1焦点の近傍で光偏向装置に当たり、光偏向装置は光源から来るビームを光学系の第1システム領域に異なる入射角で供給できる。光学系の第1システム領域によって結像されるビームは、光折り曲げ装置(34)によって光学系の第2システム領域に偏向される。ビームは、ビームが光偏向装置に再度当たり、一定の位置で発散変更装置を離れるように光学系の第2システム領域によって結像される。【選択図】図1
申请公布号 JP2015531888(A) 申请公布日期 2015.11.05
申请号 JP20150527008 申请日期 2013.11.19
申请人 スキャンラボ アーゲー 发明人 ラーベ,マティアス;ベックラー,アーンスト ウィルヘルム
分类号 G02B27/09;G02B17/06;G02B26/08 主分类号 G02B27/09
代理机构 代理人
主权项
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