多機能ウェハー及びフィルムフレームハンドリングシステム

摘要

多機能ウェハー及びフィルムフレームハンドリングシステムが、ウェハー又はフィルムフレームを支持するために構成された超平坦なウェハーテーブル表面を提供するウェハーテーブルを有するウェハーテーブルアセンブリーと、次の少なくとも一つ：ウェハーテーブル表面に垂直な方向において反った又は非平坦なウェハーの部分に下方力を自動的に適用するために構成された平坦化機器；ウェハーテーブルを介したウェハーの裏面への適用された負の圧力の停止及び正の圧力の適用の後のウェハーテーブル表面に対するウェハーの無制御の横の動きを自動的に制約又は阻止するために構成された変位制限機器；及びフィルムフレーム上に実装されたウェハーの回転ミスアライメントを自動的に補償するために構成された回転ミスアライメント補償機器を含む。