| 摘要 |
<p>既定の酸素欠損を有する酸素欠損金属膜を、少なくとも一つの前駆体の化学反応により、基板上に堆積させる方法が、記載される。代表的な方法は、金属酸化物堆積サイクルの間、金属を含む金属反応ガス及び酸素を含む酸素反応ガスに基板を曝露し、金属酸化物を含有する層を基板上に形成すること、酸素欠損堆積サイクルの間、金属を含む金属反応ガス及び酸素を含まない追加の反応ガスに基板を曝露し、第二のサイクルの間に、金属窒化物及び混合金属のうちの少なくとも一つの第二の層を基板上に形成し、第二の層は、金属酸化物を含有する層と比較して酸素が欠損していること、並びに、金属酸化物堆積サイクル及び酸素欠損堆積サイクルを繰り返し、既定の酸素欠損を有する酸素欠損膜を形成すること、を含む。【選択図】図１</p> |
