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Substratbehandlungsanlage, umfassend eine von Kammerwänden (11) begrenzte Prozesskammer und in der Prozesskammer – eine Substrattransporteinrichtung zum horizontalen Transport plattenförmiger Substrate in einer Transportebene und in einer Transportrichtung, wobei die Substrattransporteinrichtung eine Anordnung von quer zur Transportrichtung angeordneten, drehbar gelagerten, zylindrischen Transportwalzen (4) umfasst, deren oberste Mantellinien die Transportebene definieren sowie mindestens eine oberhalb der Transportebene angeordnete Substratbehandlungseinrichtung (1) und mindestens einen Gaseinlass (6), dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der mindestens einen Substratbehandlungseinrichtung (1) unterhalb der Transportebene mindestens eine Zusatz-Heizeinrichtung (7) und unter der Substrattransporteinrichtung eine Kondensationseinrichtung (8, 9) angeordnet ist. |
