一种导电氧化物靶材及导电氧化物薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种新型导电氧化物靶材及导电氧化物薄膜的制备方法，由添加第三种元素在本来的二元氧化物中，以提高电载子移动性来提高透光性及导电性，并首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关靶材，提高靶材均匀性及致密度，大幅降低溅镀过程中异常电弧的产生，延长靶材寿命及利用率，提高溅镀薄膜质量及性能，满足了生产的要求。

主权项

一种在导电氧化物靶材上制备导电氧化物薄膜的方法，其特征在于：以下物质的重量用重量份数表示：将100份氧化锌中添加金属氧化物及第三种氧化物，再加68份氧化锆球、30份的纯水及2份的分散剂，把上述材料研磨充分混合，研磨时间10‑14小时形成浆料，然后将浆料灌入三寸的多孔性模具中，经过24小时的干燥脱膜形成胚体，再经过1350‑1550度的6小时高温烧结，形成溅镀用靶材胚体，经切割与表面研磨成三寸导电氧化物靶材；把所需镀着玻璃基材和上述导电氧化物靶材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10^‑5‑0.9×10^‑5 torr后，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为2×10^‑3torr，以直流功率150瓦进行溅镀制程，制得薄膜厚度为90‑110nm的透明导电氧化物薄膜；其中添加的金属氧化物为0.1‑5.0份的氧化铝、0.1‑3.0份的氧化镓、0.5‑5.0份的氧化铝与0.1‑3.0份的氧化镓混合物中的一种；添加的第三种氧化物为0.1‑2.0份的氧化钼、0.1‑2.0份的氧化硼中的一种；其中分散剂为质量分数为0.5‑2%聚丙烯酸钠水溶液。