一种不等高位置晶圆托架及使用方法

摘要

一种不等高位置晶圆托架及使用方法，主要解决现有设计的等高晶圆支架在多腔同时传片过程中不能分别对单个晶圆的位置进行准确调整的技术问题。不等高位置晶圆托架，包括高晶圆支架和低晶圆支架两个部分。上述高晶圆支架通过固定螺栓将不等高晶圆支架的支板连接到晶圆支架底板的上面，然后通过紧固螺钉连接到传片腔中固定。上述低晶圆支架通过标准件将等高晶圆支架的支板连接到晶圆支架底板的上面，然后再由紧固螺钉将其连接到传片腔中固定.当高低两个晶圆支架都安装固定完成之后，通过两步骤实现了多腔晶圆在一个机械手分别进行校准及精确定位，从而保证了传片位置的准确，更加保证了薄膜沉积的均匀性。

主权项

一种不等高位置晶圆托架的使用方法，该方法中所用的不等高位置晶圆托架，它包括高晶圆支架和低晶圆支架两个部分，高、低两个晶圆支架分别设有不等高晶圆支架的支板、固定螺栓及高、低晶圆支架底板，上述高、低两个晶圆支架只有晶圆支架的底板高度不同，其他结构和安装方式都相同，上述高晶圆支架通过固定螺栓将不等高晶圆支架的支板连接到晶圆支架底板的上面，然后通过紧固螺钉连接到传片腔中固定，上述低晶圆支架通过固定螺栓将不等高晶圆支架的支板连接到晶圆支架底板的上面，然后再由紧固螺钉将其连接到传片腔中固定，其特征在于：该使用方法是当高低两个晶圆支架都安装固定完成之后，通过下述步骤开始传片：第一步，两片晶圆通过机械手传递到高晶圆支架的上方，通过晶圆传感器调整高晶圆支架上方的晶圆，使左边的晶圆精确定位在高晶圆支架的中心；第二步，左边的晶圆精确定位在高晶圆支架的中心之后，机械手开始下落，左右两片晶圆随之下落，因为高晶圆支架和低晶圆支架的高度不相等，因此，左边高晶圆支架先接触到晶圆而右边的晶圆支架还未接触到晶圆，当左边高晶圆支架上的晶圆已经完成定位下落传递的过程之后右边的晶圆因为晶圆支架相对比较低还未接触到晶圆支架，这时，通过右边的晶圆传感器开始调整低晶圆支架上方的晶圆，使右边的晶圆精确定位在晶圆支架的中心，然后机械手机械下落将右边的晶圆放在低晶圆支架上；通过以上两步骤，完全实现了多腔晶圆在一个机械手分别进行校准及精确定位，从而保证了传片位置的准确，更加保证了薄膜沉积的均匀性。