| 主权项 |
一种X线分析装置，其特征在于，该X线分析装置具有：载置试料的试料台；能够移动该试料台的试料移动机构；放射线源，其向所述试料上的任意照射点照射1次放射线；X线检测部，其在检测从所述试料释放的特性X线及散射X线的同时，输出包含该特性X线及散射X线的能量信息的信号；分析部，其与所述X线检测部连接，对所述信号进行分析；图像获取部，其获取所述试料的图像数据；分析处理部，其与所述分析部连接，判别与特定元素对应的X线强度；X线映射处理部，其根据该分析处理部的判別结果确定与所述X线强度对应的基于颜色和/或亮度的强度对比度，执行X线映射，得到映射像，对该映射像与所述图像数据进行重叠处理，确定与所述照射点相应的位置；显示部，其根据该X线映射的结果进行图像显示；以及区域指定单元，其在该显示的图像上指定测定实施区域，获取测定区域信息，其中，所述X线映射处理部具有存储与已处理过的试料有关的所述测定区域信息的数据保存部，能够在进行其它试料的分析时再次利用该测定区域信息，对于在其它试料的分析时新获取的图像数据，使用所述测定区域信息，通过旋转校正、位置校正及比例校正，正确地识别测定实施区域，根据所述测定区域信息，考虑到与所述试料台的驱动相关的加减速时间、映射测定速度或不实施测定时的自由行走距离而实施计算测定时间的仿真，确定最短时间的测定路径，并且，所述试料移动机构根据所述确定的测定路径而在指定的区域以外的区域中，以比所述指定的区域高的速度移动。 |
