功能元件、物理量传感器、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供了一种功能元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。作为功能元件的加速度传感器具有：在Y轴方向上延伸的支承梁；与支承梁的一个端部相连接并以可在Z轴方向上摆动的方式而被支承梁支承的质量体；与支承梁的另一个端部相连接并被固定于基板上的固定部；以从两侧夹持支承梁的方式被配置于质量体与支承梁之间并被固定于基板上的卡止部，质量体以支承梁为界被区分为彼此质量不同的第一质量部和第二质量部，第一质量部及第二质量部具有与卡止部的支承梁侧的相反侧相对的对置部，将在与Y轴方向交叉的X轴方向上，卡止部的靠一个端部的支承梁侧的角部与支承梁之间的距离设为L1并将卡止部与对置部之间的距离设为L2时，满足L1＞L2的关系。

主权项

一种功能元件，其特征在于，具有：基板；支承梁，其在沿着所述基板的主面的第一方向上延伸；质量体，其与所述支承梁的一个端部相连接，并能够在与所述主面交叉的第二方向上进行摆动；固定部，其与所述支承梁的另一个端部相连接，并且被固定于所述基板上；卡止部，在俯视观察时，其被配置于所述质量体与所述支承梁之间；在俯视观察时与所述第一方向交叉的第三方向上，将所述卡止部与所述支承梁间的距离设为L1，将所述卡止部与所述质量体间的距离设为L2时，则满足L1＞L2的关系。