发明名称 |
呈现提高的热稳定性的TI-AL-TA基涂层 |
摘要 |
本发明涉及一种耐磨涂层系统,该涂层系统包括含钽多层膜,所述多层膜由彼此交替沉积的n个A层和m个B层组成,其中n和m为大于1的整数,所述多层膜呈现晶体立方结构,其特征在于B层包含钽和A层呈现比B层更高的缺陷密度。 |
申请公布号 |
CN105026605A |
申请公布日期 |
2015.11.04 |
申请号 |
CN201380058544.7 |
申请日期 |
2013.09.04 |
申请人 |
欧瑞康表面解决方案股份公司,特吕巴赫 |
发明人 |
R.拉奇鲍尔;R.霍勒维格;C.M.科勒;P.H.马尔霍弗 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;C23C28/04(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
周李军;杨思捷 |
主权项 |
含钽的耐磨涂层系统(20),所述涂层系统(20)含有多层膜(10),所述多层膜(10)由彼此交替沉积的n个A层(4)和m个B层(8)构成,其中n和m为大于1的整数,所述多层膜(10)呈现晶体立方结构,其特征在于所述B层包含钽和所述A层呈现比所述B层更高的缺陷密度。 |
地址 |
瑞士特吕巴赫 |