发明名称 具有低电阻栅极结构的多鳍片鳍式场效晶体管
摘要 本发明的实施例提供具有低电阻栅极结构的多鳍片鳍式场效晶体管(finFET)。金属化线形成平行于栅极,且多个接点形成于鳍片上方,以连接该金属化线至该栅极。该金属化线提供减少的栅极电阻,使得能使用较少晶体管来提供输入-输出(IO)功能,从而提供省下的空间而能够增加电路密度。
申请公布号 CN105023947A 申请公布日期 2015.11.04
申请号 CN201510208212.3 申请日期 2015.04.28
申请人 格罗方德半导体公司 发明人 G·布赫;A·C-H·魏
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人 程伟;王锦阳
主权项 一种半导体结构,其包括:半导体基板;多个鳍片,其形成于该半导体基板中;栅极,其设置于该多个鳍片上方;多个接点,其直接实体接触该栅极并直接于该多个鳍片上方;以及金属化线,其设置于该多个接点上方,其中该金属化线电气接触该多个接点。
地址 英属开曼群岛大开曼岛