金属氨化物沉积前驱物及采用惰性安瓿衬里的此类前驱物的稳定化

摘要

描述了用于前驱物的稳定化的方法及设备，这些方法及设备可用于沉积含锰膜。某些方法及设备涉及经添加衬里的安瓿和/或2-电子供体配体。

主权项

一种用于产生化学前驱物气体的设备，所述设备包括：罐，所述罐具有侧壁、顶部及底部，所述侧壁、所述顶部及所述底部形成内部空间；进口端口及出口端口，所述进口端口及所述出口端口与所述内部空间流体连通；衬里，所述衬里在所述底部、所述顶部或所述侧壁的至少一部分上，其中所述衬里包含惰性金属氧化物；以及前驱物，所述前驱物在所述罐的所述内部空间中，其中所述前驱物含有至少一个Mn‑N键及2‑电子供体配体。