一种微纳圆偏振光检测器件

摘要

本发明公开了一种微纳圆偏振光检测器件，在金属薄膜上刻蚀出的阿基米德螺旋狭缝，在阿基米德螺旋狭缝的周围刻蚀出单圈或多圈同心阿基米德螺旋沟槽，并通过调控金属薄膜、阿基米德螺旋狭缝和阿基米德螺旋沟槽的材质、尺寸，显著提升了器件上表面的SPP激发效率，从而使得光转换效率和左、右旋圆偏振光中心点处的光强消光比得到了显著的提高。

主权项

一种微纳圆偏振光检测器件，包括金属薄膜(1)，其特征在于，金属薄膜(1)上刻蚀出的单圈阿基米德螺旋狭缝(2)，在单圈阿基米德螺旋狭缝(2)的内侧或者外侧刻有单圈或多圈同心阿基米德螺旋沟槽(3)。