| 发明名称 | 半导体晶片的自动检测装置 | ||
| 摘要 | 本发明位一种半导体晶片的自动检测装置，属于自动检测装置技术领域。主要包括机架（1）、检测运动机构（7）、料仓运动机构（5）、光路收集系统（6）、运动控制器（8）、计算机（9）、正片机（3）和整平器（2），检测运动机构(7)固定在机架1上，检测运动机构(7)的安装平面与水平面之间的夹角为α，90°＜α＜180°，料仓运动机构(5)固定在检测运动机构中机械手臂的末端位置，使得方便机械手臂对料盒中的半导体晶片进行搬运。本发明通过对料仓运动机构倾斜放置，可以在Z轴方向运动，使得机械手臂不需在Z轴方向运动，来解决现有技术中半导体晶片自动检测装置在检测时检测步骤复杂，设备成本高等问题。 | ||
| 申请公布号 | CN105023859A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
| 申请号 | CN201510451237.6 | 申请日期 | 2015.07.29 |
| 申请人 | 北京中拓光电科技有限公司 | 发明人 | 郭金源;徐杰;伊文君 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人 | 周丰 |
| 主权项 | 一种半导体晶片的自动检测装置，主要包括机架（1）、检测运动机构（7）、料仓运动机构（5）、光路收集系统（6）、运动控制器（8）、计算机（9）、正片机（3）和整平器（2），其中，光路收集系统（6）和运动控制器（8）分别通过数据线与计算机（9）连接，运动控制器（8）通过控制线缆分别与料仓运动机构（5）、运动控制器（8）连接,检测运动机构（7）包括第一水平运动机构（32）、第二水平运动机构(31)和机械手臂(33)，机械手臂(33)固定在第一水平运动机构(32)的可运动部分上，第一水平运动机构(32)布置在第二水平运动机构(31)的可运动部分上，且第一水平运动机构(32)的运动方向与第二水平运动机构(31)的运动方向相垂直，光路收集系统(6)固定在检测运动机构(7)的上方，其特征在于，检测运动机构(7)、料仓运动机构(5)和光路收集系统(6)均放置在暗室(4)内，检测运动机构(7)固定在机架（1）上，检测运动机构(7)的安装平面与水平面之间的夹角为α，90°＜α＜180°，正片机(3)和整平器(2)固定在机架(1)上，安装在暗室(4)外，料仓运动机构(5)固定在检测运动机构中机械手臂的末端位置，使得方便机械手臂对料盒中的半导体晶片进行搬运。 | ||
| 地址 | 102208 北京市昌平区回龙观镇龙祥制版集团北院1号 | ||