波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备

摘要

提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；与第一基板相对配置的第二基板；配置在第一、第二基板之间的第一反射镜；配置在第一反射镜和第二基板之间的第二反射镜；配置在第一、第二基板之间的第一电极；以及配置在第一电极和第二基板之间的第二电极，其中，第一基板具有与第二基板相对配置的第一电极面、与第一电极面交叉配置的第一面和第二面、与第二面交叉并朝向第一基板的外周配置的第三面，第二基板具有与第一电极面相对配置的第二电极面，第一电极配置在第一、第二电极面之间，并覆盖第二面的至少一部分和第三面的至少一部分，第二电极在第一、第二电极面之间与第一电极通过接触而电连接。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，包括：第一基板；以与所述第一基板相对的方式配置的第二基板；配置在所述第一基板和所述第二基板之间的第一反射镜；配置在所述第一反射镜和所述第二基板之间的第二反射镜；配置在所述第一基板和所述第二基板之间的第一电极；以及配置在所述第一电极和所述第二基板之间的第二电极，所述第一基板具有以与所述第二基板相对的方式配置的第一电极面、以与所述第一电极面交叉的方式配置的第一面和第二面、以与所述第二面交叉并朝向所述第一基板的外周的方式配置的第三面，所述第二基板具有以与所述第一电极面相对的方式配置的第二电极面，所述第一电极配置在所述第一电极面和所述第二电极面之间，并被配置为覆盖所述第二面的至少一部分和所述第三面的至少一部分，所述第二电极在所述第一电极面和所述第二电极面之间与所述第一电极通过接触而电连接。