激光剥离LED衬底的系统及方法

摘要

本发明提供了一种激光剥离LED衬底的系统及方法，所述系统包括：飞秒脉冲种子激光源；倍频晶体，对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行多倍频，倍频系数大于等于2，该倍频晶体优选为三倍频晶体；激光扩束聚焦装置，对所述倍频晶体出射的飞秒脉冲激光进行扩束和线聚焦，输出线状光斑，所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径；承载部件，用于承载所述LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层，所述线状光斑聚焦在所述外延层和衬底的交界面处。本发明能够避免剥离工艺中的热损伤，而且有利于提高生产效率。

主权项

一种激光剥离LED衬底的系统，其特征在于，包括：飞秒脉冲种子激光源；倍频晶体，对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行多倍频，倍频系数大于等于2；激光扩束聚焦装置，对所述倍频晶体出射的飞秒脉冲激光进行扩束和线聚焦，输出线状光斑，所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径；承载部件，用于承载所述LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层，所述线状光斑聚焦在所述外延层和衬底的交界面处；其中，所述激光扩束聚焦装置包括：扩束透镜组合装置，对所述飞秒脉冲激光进行扩束，使其尺寸覆盖所述LED衬底；柱透镜，对来自所述扩束透镜组合装置的激光束进行线聚焦，输出所述线状光斑。