发明名称 |
多晶硅晶棒及来自其的硅晶片 |
摘要 |
本公开提供多晶硅(mc-Si)晶棒,其包含从底部开始至高度100mm的底部分;从高度100mm开始至高度200mm的中间部分;以及从高度200mm开始至顶部的顶部分。在底部分中的非共格晶界的百分比大于顶部分中的非共格晶界的百分比。本公开也提供多晶硅(mc-Si)晶片。mc-Si晶片包含非Σ晶界的百分比为约60至约75,以及Σ3晶界的百分比为约12至约25。 |
申请公布号 |
CN105019020A |
申请公布日期 |
2015.11.04 |
申请号 |
CN201510208262.1 |
申请日期 |
2015.04.28 |
申请人 |
中美矽晶制品股份有限公司 |
发明人 |
周鸿昇;杨瑜民;余文怀;许松林;徐文庆;蓝崇文;翁煜庭 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
隆天知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
王芝艳;冯志云 |
主权项 |
一种多晶硅晶棒,其包括:底部分,其自底部开始至高度100mm;中间部分,其自该高度100mm至高度200mm;以及顶部分,其自该高度200mm至顶部;其中在该底部分中的非共格晶界的百分比大于该顶部分中的非共格晶界的百分比。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |