水蒸气阻挡膜

摘要

本发明提供一种显示较高的水蒸气阻挡性的水蒸气阻挡膜。一种水蒸气阻挡膜，使用由第1氧化物(X)构成的蒸镀材和由第2氧化物(Y)构成的蒸镀材，利用通过反应性等离子体蒸镀法同时蒸镀的共蒸镀法成膜，且由2种氧化物构成，其特征在于，当阻挡膜的膜厚在30～500nm范围内时，满足θ×ΔB≥50(其中，50°≤θ≤125°，ΔB＞0.4)。另外，θ表示成膜后在温度25℃、相对湿度50％RH的条件下至少保持一天的水蒸气阻挡膜的水滴接触角，ΔB表示第1氧化物(X)的碱度B_X与第2氧化物(Y)的碱度B_Y之差的绝对值。并且，将在水蒸气阻挡膜中的第1氧化物(X)的含有比例设为x摩尔、第2氧化物(Y)的含有比例设为y摩尔时，x及y满足0.05≤x/(x+y)≤0.95。

主权项

一种水蒸气阻挡膜，使用由第1氧化物(X)构成的蒸镀材和由第2氧化物(Y)构成的蒸镀材，利用通过反应性等离子体蒸镀法同时蒸镀的共蒸镀法成膜，且由2种氧化物构成，其特征在于，所述第1氧化物(X)为ZnO、所述第2氧化物(Y)为SiO₂且所述阻挡膜的膜厚为135～500nm，或者所述第1氧化物(X)为MgO、所述第2氧化物(Y)为SnO₂且所述阻挡膜的膜厚为30～500nm，当所述阻挡膜的膜厚在30～500nm范围内时，满足θ×ΔB≥50，其中，50°≤θ≤125°，ΔB＞0.4，另外，θ表示成膜后在温度25℃、相对湿度50％RH的条件下至少保持一天的所述水蒸气阻挡膜的水滴接触角，ΔB表示所述第1氧化物(X)的碱度B_X与所述第2氧化物(Y)的碱度B_Y之差的绝对值，并且，将在所述水蒸气阻挡膜中的第1氧化物(X)的含有比例设为x摩尔、所述第2氧化物(Y)的含有比例设为y摩尔时，x及y满足0.05≤x/(x+y)≤0.95。