发明名称 存储器元件的形成方法
摘要 本发明提供了一种存储器元件的形成方法,包括:在一第一电极上形成一电阻转换层;在该电阻转换层上形成一第二电极;对该电阻转换层提供一形成电压使该电阻转换层的电阻变小;在提供该形成电压后,对该电阻转换层提供一初始重置电压使该电阻转换层的电阻变大;在提供该初始重置电压后,对该电阻转换层提供一第一设定电压,使该电阻转换层的电阻变小;在提供该第一设定电压后,对该电阻转换层提供一第二重置电压,使该电阻转换层的电阻变大;以及在提供该第二重置电压后,对该电阻转换层提供一第二设定电压,使该电阻转换层的电阻变小,其中,该第二设定电压小于该第一设定电压。本发明提高了电阻式非易失性存储器的合格率与效率。
申请公布号 CN105024010A 申请公布日期 2015.11.04
申请号 CN201410151323.0 申请日期 2014.04.16
申请人 华邦电子股份有限公司 发明人 林孟弘;吴伯伦
分类号 H01L45/00(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 汤在彦
主权项 一种存储器元件的形成方法,其特征在于,包括: 在一第一电极上形成一电阻转换层; 在该电阻转换层上形成一第二电极; 对该电阻转换层提供一形成电压使该电阻转换层的电阻变小; 在提供该形成电压后,对该电阻转换层提供一初始重置电压使该电阻转换层的电阻变大; 在提供该初始重置电压后,对该电阻转换层提供一第一设定电压,使该电阻转换层的电阻变小; 在提供该第一设定电压后,对该电阻转换层提供一第二重置电压,使该电阻转换层的电阻变大;以及 在提供该第二重置电压之后,对该电阻转换层提供一第二设定电压,使该电阻转换层的电阻变小,其中,该第二设定电压小于该第一设定电压。 
地址 中国台湾台中市