发明名称 | 存储器元件的形成方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种存储器元件的形成方法,包括:在一第一电极上形成一电阻转换层;在该电阻转换层上形成一第二电极;对该电阻转换层提供一形成电压使该电阻转换层的电阻变小;在提供该形成电压后,对该电阻转换层提供一初始重置电压使该电阻转换层的电阻变大;在提供该初始重置电压后,对该电阻转换层提供一第一设定电压,使该电阻转换层的电阻变小;在提供该第一设定电压后,对该电阻转换层提供一第二重置电压,使该电阻转换层的电阻变大;以及在提供该第二重置电压后,对该电阻转换层提供一第二设定电压,使该电阻转换层的电阻变小,其中,该第二设定电压小于该第一设定电压。本发明提高了电阻式非易失性存储器的合格率与效率。 | ||
申请公布号 | CN105024010A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
申请号 | CN201410151323.0 | 申请日期 | 2014.04.16 |
申请人 | 华邦电子股份有限公司 | 发明人 | 林孟弘;吴伯伦 |
分类号 | H01L45/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 汤在彦 |
主权项 | 一种存储器元件的形成方法,其特征在于,包括: 在一第一电极上形成一电阻转换层; 在该电阻转换层上形成一第二电极; 对该电阻转换层提供一形成电压使该电阻转换层的电阻变小; 在提供该形成电压后,对该电阻转换层提供一初始重置电压使该电阻转换层的电阻变大; 在提供该初始重置电压后,对该电阻转换层提供一第一设定电压,使该电阻转换层的电阻变小; 在提供该第一设定电压后,对该电阻转换层提供一第二重置电压,使该电阻转换层的电阻变大;以及 在提供该第二重置电压之后,对该电阻转换层提供一第二设定电压,使该电阻转换层的电阻变小,其中,该第二设定电压小于该第一设定电压。 | ||
地址 | 中国台湾台中市 |