一种独用参比的声表面波气体传感器阵列

摘要

本发明公开了一种独用参比的声表面波气体传感器阵列，包括n个测量传感器和n个参比传感器，还包括一个具有2n个振荡回路的传感器阵列电路板和由一个气罩紧扣在电路板上而构成的气室，n个测量传感器和n个参比传感器同时安装在所述气室中，沿气流方向，测量传感器和参比传感器分别排成两列，处于气流对等位置的测量传感器和参比传感器组成1对，由电路混频后输出n个差频信号。本发明的测量传感器和参比传感器由于处于气流温场的等温点上，能够有效地降低环境温度波动对传感器阵列响应的影响。

主权项

一种独用参比的声表面波气体传感器阵列，包括n个测量传感器和n个参比传感器，其特征在于，还包括一个具有2n个振荡回路的传感器阵列电路板和由一个气罩紧扣在电路板上而构成的气室；所述测量传感器和参比传感器都设置在所述气室中，外界气体从气室的一端进入，而从另一端排出，沿气流的方向，n个测量传感器和n个参比传感器排成两行，处于对等位置的测量传感器和参比传感器组成1对，由电路板混频后输出n个差频信号；气罩的左右两侧开有进气口和排气口，气罩的内腔完全中空或由两排空腔构成，每排空腔间彼此串通共n个，两排空腔分别安放测量传感器和参比传感器；其中，n个测量传感器和n个参比传感器由分离器件构成，去掉金属保护盖后的分离SAW器件为参比传感器，叉指状金属电极IDT上涂敷敏感膜后的SAW器件为测量传感器。