| 发明名称 | 一种硅片清洗装置 | ||
| 摘要 | 本申请公开了一种硅片清洗装置，包括清洗筐、以及阵列放置于所述清洗筐内的9个清洗花篮，所述清洗花篮的长边与所述清洗筐的长边平行，所述清洗花篮的短边与所述清洗筐的短边平行。本发明的优点在于：(1)、改善前单槽清洗批量由8盒/筐200片转变改善后单槽清洗批量9盒/筐225片，单项改善产量提升12.5％。(2)、改善了清洗花篮工装的用量从而节省物料的成本。(3)、保证了单框清洗运行的稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN105023866A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
| 申请号 | CN201510464497.7 | 申请日期 | 2015.07.31 |
| 申请人 | 江苏奥能光电科技有限公司 | 发明人 | 陶建阳 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人 | 陆华君 |
| 主权项 | 一种硅片清洗装置，其特征在于，包括清洗筐、以及阵列放置于所述清洗筐内的9个清洗花篮，所述清洗花篮的长边与所述清洗筐的长边平行，所述清洗花篮的短边与所述清洗筐的短边平行。 | ||
| 地址 | 215638 江苏省苏州市张家港市经济开发区汤桥中路8号（江苏奥能光电科技有限公司） | ||