基于研磨抛光工件多自由度调整机构的自适应调整方法

摘要

本发明公开了一种基于研磨抛光工件多自由度调整机构的自适应调整方法，通过对工件上下表面平行度进行测量，对分级抛光盘表面进行修整，图像采集分析系统对分级抛光盘表面进行图像采集并产生分级抛光盘表面三维形貌数据，同时通过固定姿态的工件与旋转的分级抛光盘接触，通过高精度三维压力传感器系统采集工件受到的力，并利用该力反求出分级抛光盘表面的形貌特征；综合两个表面形貌数据，规划工件加工时的位姿，生成工件位姿变换数据；根据生成的工件位姿变换数据控制工件加工时的位置和姿态。本发明能够有效改善工件上下表面平行度，实时调整工件空间位姿，保证工件加工时接触压力保持恒定，从而得到表面光滑无损伤且形面精度好的工件。

主权项

一种基于研磨抛光工件多自由度调整机构的自适应调整方法，其特征在于：包括以下步骤：1)提供工件，并对工件进行上下表面平行度的测量，将工件固定在高精度三维压力传感器前端的工件固定平台上；2)提供复合弹性分级抛光盘，通过修面工具对分级抛光盘上表面进行修整；3)通过图像采集分析系统对分级抛光盘表面进行图像采集并产生分级抛光盘表面三维形貌数据，同时通过固定姿态的工件与旋转的分级抛光盘接触，通过高精度三维压力传感器系统采集工件受到的力，并利用该力反求出分级抛光盘表面的形貌特征；4)综合图像采集分析系统和高精度三维压力传感器系统得到的分级抛光盘的表面形貌数据，规划工件加工时的位姿，生成工件位姿变换数据；根据生成的工件位姿变换数据，通过工件空间位姿控制执行系统控制工件加工时的位置和姿态；工件加工时继续通过高精度三维压力传感器系统检测工件受理情况，并实时修正工件位姿变换信息。