一种多晶硅铸锭热场结构

摘要

本发明公开一种多晶硅铸锭热场结构，其包括：隔热笼，且隔热笼为八边形结构的钢笼，所述隔热笼内部宽度达到1420mm×1420mm，且所述隔热笼内部有重迭设置的两层隔热层，其中，侧外隔热层为梯形结构；石墨导热块，收容于所述隔热笼内并与所述底保温板固定连接，石墨导热块上放置坩埚，所述坩埚用于盛放多晶硅原料；加热器，收容于所述隔热笼内，固定连接所述顶保温板，位于所述高温腔内，并设置于坩埚外侧，所述加热器分为侧部加热器和顶部加热器两部分，侧部加热器长度为1185mm，宽度为315mm，厚度为19mm；顶部加热器分为五部分。

主权项

一种多晶硅铸锭热场结构，其特征在于，其包括：隔热笼，且隔热笼为八边形结构的钢笼，所述隔热笼内部宽度达到1420mm×1420mm，且所述隔热笼内部有重迭设置的两层隔热层，其中，侧外隔热层为梯形结构；石墨导热块，收容于所述隔热笼内并与所述底保温板固定连接，石墨导热块上放置坩埚，所述坩埚用于盛放多晶硅原料；加热器，收容于所述隔热笼内，固定连接所述顶保温板，位于所述高温腔内，并设置于坩埚外侧，所述加热器分为侧部加热器和顶部加热器两部分，侧部加热器长度为1185mm，宽度为315mm，厚度为19mm；顶部加热器分为五部分。